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许高斌

许高斌教授、博士学位、硕士生导师。

2004年毕业于东南大学6MEMS教育部重点实验室,获工学博士学位,2010年在中科院半导体研究所从事高级访问研究。现任合肥工业大学电子科学与应用物理学院教授,安徽省MEMS工程技术研究中心主任。

主要研究领域:

1CMOS MEMSMEMS传感器与系统的设计、制造与封装
2RF MEMS器件及其RF集成电路/RFIC
3
NEMS器件与传感器
4、微结构设计与制造
5MEMS多参数在线监测

近年来在IEEE Sensors Journal, Sensors and Actuators, Journal of Micromechanics and Microengineering, 仪器仪表学报半导体学报真空与科学技术学报中国机械工程电子测量与仪器学报等国内外期刊上发表学术论文30余篇,其中SCI收录5篇,EI收录19篇。相关研究成果已在MEMS 专业设计软件IntenlliSence软件中使用,取得良好的经济效益和社会效益;其相关研究成果被编著于微米纳米系列丛书-《微米纳米器件测试技术》(张文栋等编著,北京:国防工业出版社,2012,10181-187页)。应邀为APCOT’2008(海峡两岸微米纳米技术研讨会,2008,台湾成功大学)分会主席(Session Chair of Bio Micro-Nano Technology),中国微米纳米技术学会第十一届学术年会(2009,哈尔滨)分会主席,应邀为第十二届全国敏感元件与传感器学术会议程序委员会委员(2012.江苏昆山)。中国微米纳米技术学会高级会员,IEEE Sensors Journal、东南大学学报(自然科学版)等期刊审稿人

已完成的科研项目

1 863计划项目:MEMS加工与封装建模、模拟与IP库,项目编号:2003AA404010。项目完成,通过专家组验收。其科研成果已在MEMS专业设计软件的测试模块中应用。

2 863计划项目:环境气象检测微系统开发,项目编号:2002AA404540。项目完成,通过专家组验收。

3总装备部“十•五”预研计划:用于工艺监控的MEMS测试结构及方法,项目编号:41308.05.02.06。项目完成,通过专家组验收。

4安徽省高校省级自然科学研究重点项目:基于MEMS技术CMOS兼容静电型微继电器研究,项目编号:2006KJ026A2006,01-2008,12,项目主持人。

5合肥市重点科技项目计划:便携式微生物总数快速监测仪,2007,11-2008,12,项目主持人。

6微电子机械系统教育部重点实验室(东南大学)2006年度开放课题:薄膜热学性能在线测试结构研究,项目编号:2006SEU-MEMS05,项目主持人。

7、安徽省自然科学基金:柔性衬底单壁碳纳米管阵列NEMS器件及其在纳米集成电路中的应用研究,项目主持人。

8、中国兵器工业第二一四研究所军工预研基金项目1:硅基MEMS加速度传感器(电容式),项目主持人。已流片成功。

9、中国兵器工业第二一四研究所军工预研基金项目2:高gMEMS加速度传感器(压阻式),项目主持人。已流片成功。

10、合肥邦立电子有限公司委托研发项目:数字电容式液位传感技术的应用开发,项目主持人。

11、中央高校基础业务费重大预研专项车载MEMS传感器关键技术,项目主持人。

目前在研的科研项目

1、国家863计划项目:无线、无源、多参数微纳传感器与系统。

2、国家自然科学基金重大研究计划项目(纳米制造的基础研究):基于改性TiO2纳米管阵列的传感器件的构造研究。

3、安徽省科技攻关计划项目:SOI基高性能MEMS传感关键技术研究。

获奖

12006年度高等学校科学技术奖:自然科学一等奖,项目名称:多晶硅电热微执行器模型、制备与表征,个人证件编号:2006-***

22009年度江苏省科技进步二等奖,项目名称:微机电系统模型、模拟及应用。个人证书编号:2009-*-*-**-** 

专利:

授权发明专利:导体薄膜热导率测试装置,发明人:许高斌,黄庆安,专利号:ZL03113386.X。已授权。

授权发明专利:数字电容式液位测量传感器,发明人:许高斌,张肖康,陈兴,周革,李一方,专利号: ZL 200910145055.0。已授权。

授权发明专利:双栅沟道导电类型可调单壁碳纳米管场效应晶体管及制备工艺,发明人:许高斌,陈兴,周琪,王鹏,常永嘉,专利号:ZL 201110197345.7

授权实用新型专利:低阈值电压静电型微继电器,发明人:许高斌,何晓雄,李洋,专利号:ZL2006201654757。已授权。

授权实用新型专利:双栅沟道导电类型可调单壁场效应晶体管,专利号:ZL 2001120248596,发明人:许高斌,陈兴,周琪,王鹏,常永嘉。已授权。

发明专利:不等高梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法,申请(专利)号: 201110190985.5,发明人:许高斌。公开(公告)号: CN102401842A

发明专利:一种单片集成CMOS MEMS多层金属三轴电容式加速度传感器及其制备方法,申请(专利)号: 201210404112.4,发明人:许高斌,陈兴,马渊明,段宝明。公开(公告)号: CN102955046A 

发明专利:基于绝缘体上硅选择性制备多孔硅的方法,申请(专利)号: 201310332854.5,发明人:许高斌,卢翌,陈兴,马渊明。

联系方式:安徽省合肥市屯溪路193号合肥工业大学电子科学与应用物理学院(230009)             

                     Email: gbxu@hfut.edu.cn

  电话: 0551-62902263

 

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